IMEC清洗機型號：FLS-7000/8000/9000系列

設備用途：晶圓化學(xué)腐蝕和清洗

1.技術(shù)參數：

可處理晶圓材料：硅、砷化鎵、氮化鎵、磷化銦、 碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等

產(chǎn)品尺寸：2~12寸（25片/籃或50片/籃

）2.清除物：金屬、有機物、顆粒、氧化膜 等2.控制方式：

PLC HMI

3.信息交互：

數據讀取，主動(dòng)傳送MES。

根據具體的加工工序進(jìn)行工藝設置。

4.工序適用：光刻前清洗，腐蝕，刻蝕等

廣東凡林裝備科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“凡林裝備”）是一家高速發(fā)展的工業(yè)清洗裝備研發(fā)制造企 業(yè)，2014年，公司的前身創(chuàng )立于廣東省深圳市，2021年9月引入美國專(zhuān)家BILL博士團隊，聚 焦于工業(yè)領(lǐng)域的高端清洗整體解決方案，在物理清洗、化學(xué)清洗、電子清洗、靜電清洗等方面均有行業(yè)成功應用經(jīng)驗案例。公司在深圳龍華、東莞塘廈有超過(guò)11300平方工業(yè)廠(chǎng)房，員工人員78人。公司與華南理工大學(xué)及相關(guān)研究所人才輸送以及產(chǎn) 研合作；在深圳、蘇州和東莞設置有辦公及生產(chǎn)基地，總面積11300多平方米。公司擁有千級及萬(wàn)級無(wú)塵室，以滿(mǎn)足高端清洗濕法設備的部件清潔及組裝。公司是中國工業(yè)清洗協(xié)會(huì )“ICAC”的理事單位。公司獲得了ISO9001質(zhì)量管理體系認證，正在進(jìn)行精益生產(chǎn)體系六西格瑪的認證。展望未來(lái)，凡林人將繼續以“使工業(yè)清洗更環(huán)保、更輕松”為使命，堅持以人為本，科技創(chuàng ) 新，產(chǎn)品即人品的經(jīng)營(yíng)理念，為客戶(hù)提供整體解決方案，解決清洗痛點(diǎn)，致力將公司打造成 中國工業(yè)清洗細分領(lǐng)域的行業(yè)應用級領(lǐng)軍企業(yè)，為中國的環(huán)保清洗、智能清洗生產(chǎn)盡一份企 業(yè)的力量。主營(yíng)產(chǎn)品有：1.槽式清洗設備通過(guò)清洗治具把產(chǎn)品沒(méi)入液體中的一類(lèi)清洗設備，主要以聲學(xué)、化學(xué)為主通過(guò)液體為介質(zhì) 的濕法處理設備；工藝槽數可為單槽、多槽；傳輸實(shí)現方式有手動(dòng)、半自動(dòng)的、全自動(dòng)。2.平板式清洗設備直接把產(chǎn)品放置在設備上的（也可放置清洗夾具）非全浸入式的一類(lèi)清洗設備，主要以毛 刷、噴淋為主通過(guò)液體為介質(zhì)的濕法處理設備；工藝段可為毛刷、噴淋單組合、多組合； 傳輸實(shí)現方式有半自動(dòng)、全自動(dòng)。3.等離子清洗機常壓、真空負壓下清洗，結構及工作形式可分為手持，箱式、在線(xiàn)式。4.非標定制復合清洗機把浸入式、平躺式進(jìn)行組合，同時(shí)把聲學(xué)清洗、化學(xué)清洗、刷洗、噴洗、蒸汽、等離子 清洗進(jìn)行的任何單一或多個(gè)清洗的組合清洗，統稱(chēng)為非標組合清洗。主要應用于光學(xué)玻璃清洗、半導體元件清洗、新能源光伏玻璃行業(yè)、3C光電行業(yè)等。

主營(yíng)產(chǎn)品：玻璃蓋板清洗機,車(chē)載玻璃清洗機,光學(xué)鏡頭清洗機,晶圓清洗機,硅片清洗機,UTG玻璃清洗機,藍玻璃清洗機,藍寶石清洗機,碳化硅清洗機,RCA清洗機,IMEC清洗機 公司成立年份：2021
公司網(wǎng)址：http://FLSHY.glass.com.cn

地區：廣東 深圳 深圳市
網(wǎng)址: http://FLSHY.glass.com.cn

1、臥式玻璃清洗機采用國標方管骨架；水平臥式結構；2、臥式玻璃清洗機的溫度控制器可調整吹風(fēng)溫度，從0-90°都可以調整；3、臥式玻璃清洗機的傳動(dòng)部分使用無(wú)級變速機控制,可任意調節清洗速度；4、臥式玻璃清洗機的輸送棍、毛刷棍以及海綿棍均采用耐高溫，耐酸堿材質(zhì),使用壽命長(cháng)；5、臥式玻璃清洗機為密集滾筒帶動(dòng)設計，加工面積范圍大，循環(huán)水清洗玻璃一次完成。6、臥式玻璃清洗機使用離心風(fēng)機，音量小、風(fēng)量大；高溫烘干系統，玻璃清洗完成后表面溫度在30-50°左右。