氧化鋅摻鋁（AZO）薄膜因無(wú)害、成本低、Zn 源材料豐富以及在 H 等離子體中性能穩定等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛的研究，尤其作為前電極應用在薄膜太陽(yáng)能電池中 。在A(yíng)ZO薄膜的制備方法中，磁控濺射技術(shù)具有成膜致密和成本低等優(yōu)點(diǎn)，其中以直流和射頻磁控濺射研究廣。 要獲得高性能的AZO薄膜，直流磁控濺射一般要求基片加熱到 200~500 ℃ ，提高了實(shí)際應用中的成本，縮小了AZO薄膜的應用范圍。而采用射頻磁控濺射技術(shù)可以在低溫下制備高性能的AZO薄膜，但是沉積速率太低，無(wú)法滿(mǎn)足實(shí)際生產(chǎn)的需求。

由于鋰離子電池具有不錯的性能，如高能量密度、高操作電壓、長(cháng)循環(huán)壽命、低自放電率等，故廣泛應用在手機、筆記本電腦等電子產(chǎn)品中。作為鋰電池的重要組成部分，隔膜在正極與負極材料之間起電子絕緣、提供微孔通道支持離子遷移的作用。電池的容量、循環(huán)以及安全性能與隔膜性能的優(yōu)劣有著(zhù)直接的關(guān)系，可以說(shuō)，沒(méi)有高質(zhì)量的隔膜就不會(huì )有性能不錯的電池。

面對能源日益短缺及傳統化石燃料燃燒帶來(lái)的嚴重環(huán)境污染等問(wèn)題，固體氧化物燃料電池(Solid oxide fuel cells，SOFC)因具有、零污染等顯著(zhù)優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛的關(guān)注及研究。幾十年來(lái)，業(yè)界公認固體氧化物燃料電池是燃料電池中具有潛力的一種。 通過(guò)靜電噴涂技術(shù)在非常高分子量聚乙烯隔膜表面負載PVDF顆粒，制得非常高分子量聚乙烯復合隔膜。該隔膜具有較高的孔隙率和良好的尺寸穩定性，縱向熱收縮率由2.6%減小到1．3%。PVDF 溶液的佳噴涂條件是:溶液濃度為3%;噴涂電壓為21kV;接收距離為 15cm。將該隔膜組裝成鋰離子電池，表明，隔膜的各項性能不錯，電池的初次放電容量提高了4．2%，經(jīng)過(guò) 50 次充放電，電池的循環(huán)穩定性良好。

雖然提高靶材的密度增加了靶材制造的難度，但是對靶材的使用，薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量以及綜合成本的降低有明顯的好處。高密度靶材其表面粗糙度低，有效濺射面大，濺射效率高，靶材本身表面黑化趨勢降低，并且制得的薄膜電阻率低 。同時(shí)，高密度陶瓷靶材可以提高靶材的使用壽命，從而降低了靶材的使用成本。采用冷噴涂技術(shù)制備高性能金屬（以及合金），其材質(zhì)包括銀、鉻、銅等金屬和銀合金、銅合金、鋅合金等合金材料。改造后涂層質(zhì)量?jì)?yōu)于鑄造和熱噴涂，低氧含量＜1000PPM，密度大于97%。冷噴涂Ti涂層也應用廣泛，Ti具有很高的性能密度比及耐腐蝕能力。冷噴涂Ti涂層可避免熱噴涂中的氧化和燃燒現象，殘余應力低，結合強度高，同時(shí)涂層的使用壽命大大提高。

有學(xué)者提出了一些結構簡(jiǎn)單可靠度高的新型陰極靶結構：旋轉陰極靶結構，其中磁靴由磁軛板、外磁鐵和中心磁鐵組成， 其中靴板是一個(gè)和鎳靶同直徑的環(huán)形軟鐵圓盤(pán)， 短環(huán)形的外磁鐵安裝在磁軛板的邊緣，中心磁鐵是由 FeNdB 材料制成的永磁體，被偏心安裝在磁軛板上。磁軛繞著(zhù)靶的中心線(xiàn)旋轉，并帶動(dòng)中心磁鐵繞著(zhù)靶材的中心線(xiàn)偏心旋轉，磁力線(xiàn)在中心磁鐵和短外磁鐵之間形成閉合回路，使靶面的磁力線(xiàn)分布擴寬，增加了濺射面積。

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