高真空鍍膜機(jī)，鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用較為廣泛的設(shè)備。其相關(guān)組成及各部件：機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵、冷凝泵、真空測(cè)量系統(tǒng).
　　
　　下面本人詳細(xì)介紹各部分的組成及工作原理。
　　
　　一、真空主體——真空腔
　　
　　根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用較多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅(jiān)實(shí)等，真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。
　　
　　二、輔助抽氣系統(tǒng)
　　
　　此排氣系統(tǒng)采用“擴(kuò)散泵+機(jī)械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold”組成
　　
　　排氣流程為：機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時(shí)候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。
　　
　　排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴(kuò)散泵三大部分組成。
　　
　　機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用較廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
　　
　　機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式（此主要應(yīng)用于大型設(shè)備）、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式（此目前應(yīng)用較廣泛，本文主要介紹）四種類型。
　　
　　機(jī)械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過(guò)高、有爆開性和腐蝕性的氣體，機(jī)械泵一般被用來(lái)抽除較久性的氣體，但是對(duì)水氣沒(méi)有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個(gè)內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。
　　
　　它的兩個(gè)彈片交替起著兩方面的作用，一方面從進(jìn)氣口吸進(jìn)氣體，另一方面壓縮已經(jīng)吸進(jìn)的氣體，將氣體排出泵外。轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周，泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當(dāng)泵連續(xù)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，旋片泵不斷的通過(guò)進(jìn)氣口吸入氣體，又從排氣口不斷的排出泵外，實(shí)現(xiàn)對(duì)容器抽氣的目的。為了提高泵的較限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的間隙中及有害空間里面經(jīng)常保持足夠的油，把空隙填滿，所以油一方面起到了潤(rùn)滑作用，另一方面又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用，防止氣體分子通過(guò)各種渠道反流到壓強(qiáng)低的空間去。
　　
　　機(jī)械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有較限真空，抽氣速率，此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的較限真空，雙級(jí)機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕，甚至更高。
　　
　　抽氣速率，是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，單位時(shí)間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計(jì)算：
　　
　　Sth=2nVs=2nfsL
　　
　　fs表示吸氣結(jié)束時(shí)空腔截面積，L表示空腔長(zhǎng)度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過(guò)程，Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時(shí)候，吸氣結(jié)束，此時(shí)空腔內(nèi)的體積非常大，轉(zhuǎn)速為n。
　　
　　機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系，當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松，電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時(shí)候，機(jī)械泵的排氣效果也會(huì)變差，所以要經(jīng)常保養(yǎng)，點(diǎn)檢，機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點(diǎn)檢，油過(guò)少，達(dá)不到密封效果，泵內(nèi)會(huì)漏氣，油過(guò)多，把吸氣孔堵塞，無(wú)法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5厘米即可。
　　
　　增壓泵又叫羅茨泵：它是具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形轉(zhuǎn)子的機(jī)械泵，由于它的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相同，所以又可以叫羅茨真空泵，此泵在100-1帕壓強(qiáng)范圍內(nèi)有非常大的抽氣速度，它彌補(bǔ)了機(jī)械泵在此范圍內(nèi)排氣能力不足的缺點(diǎn)，此泵不能從大氣開始工作，也不能直接排出大氣，它的作用僅僅是增加進(jìn)氣口和排氣口之間的壓差，其余的則需要機(jī)械泵來(lái)完成，因此，它必須配以機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
　　
　　機(jī)械泵在使用過(guò)程中，必須注意以下問(wèn)題：
　　
　　1、機(jī)械泵要安裝在清潔干燥的地方。
　　
　　2、泵本身要保持清潔干燥，泵內(nèi)的油具有密封和潤(rùn)滑作用，因此要按照規(guī)定量添加。
　　
　　3、要定期更換泵油，更換的時(shí)候要先排出以前的廢油，周期為至少三個(gè)月至半年更換一次。
　　
　　4、要按照說(shuō)明書接好電線。
　　
　　5、機(jī)械泵停止工作前要先關(guān)閉進(jìn)氣閥門，再停電并公開氣閥，將大氣通過(guò)進(jìn)氣口放入泵中。
　　
　　6、泵在工作期間，油溫不可以超過(guò)75攝氏度，否則會(huì)由于油的黏度過(guò)小而導(dǎo)致密封不嚴(yán)。
　　
　　7、要不定期檢點(diǎn)機(jī)械泵的皮帶松緊度、電機(jī)的轉(zhuǎn)速，羅茨泵電機(jī)的轉(zhuǎn)速，和密封圈的密封效果。
　　
　　油擴(kuò)散泵：機(jī)械泵的較限真空只有10-2帕，當(dāng)達(dá)到10-1帕的時(shí)候，實(shí)際抽速只有理論的1/10，如果要獲得高真空的話，必須采用油擴(kuò)散泵。
　　
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