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真空鍍膜機(jī)真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。
不銹鋼是目前非常高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%~20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無(wú)磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270~900℃工作等優(yōu)點(diǎn),在高真空和非常高真空系統(tǒng)中,應(yīng)用廣泛。
近年來(lái),為了降低真空腔體的制作成本,采用鑄造鋁合金來(lái)制作腔體也逐漸普及。另外,采用鈦合金來(lái)制作特殊用途真空腔體的例子也不少。
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來(lái)獲得平坦的表面。非常高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來(lái)進(jìn)行表面處理。
焊接是真空鍍膜機(jī)真空腔體制作中較重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量,通常采用氬弧焊來(lái)完成焊接。氬弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電較周?chē)鷩娚浔Wo(hù)氣體氬氣,以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。
非常高真空腔體的氬弧焊接,原則上必須采用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),以免存在死角而發(fā)生虛漏。
真空鍍膜機(jī)真空腔體的內(nèi)壁表面吸附大量的氣體分子或其他農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物,成為影響真空度的放氣源。為實(shí)現(xiàn)非常高真空,要對(duì)腔體進(jìn)行150~250℃的高溫烘烤,以促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。比較經(jīng)濟(jì)簡(jiǎn)單的烘烤方法是使用加熱帶,加熱帶的外面再用鋁箔包裹,防止熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱。
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