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東京大學(xué)開發(fā)在玻璃基板上濺射層積LED的技術(shù)

來源:玻璃工業(yè)網(wǎng) 2017/10/30 11:29:01

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中玻網(wǎng)】東京大學(xué)生產(chǎn)技術(shù)研究所教授藤岡洋的研究室開發(fā)出了在玻璃基板上用濺射法形成GaN基LED的技術(shù)。相關(guān)論文已發(fā)表在學(xué)術(shù)雜志!禨cientificReports》上。除了與現(xiàn)有LED相比可大幅降低制造成本之外,新技術(shù)還有可能實(shí)現(xiàn)用無機(jī)LED制作農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系EL那樣的大面積發(fā)光元件。

  藤岡教授的研究室在約2英寸(直徑約5cm)的玻璃基板上轉(zhuǎn)印了石墨烯多層膜,然后在石墨烯多層膜上用脈沖濺射法分別形成了AlN、n型GaN、由GaN與InGaN的多層構(gòu)造構(gòu)成的量子阱、p型GaN晶體。

  藤岡表示,很早以前就開始開發(fā)利用濺射法制作LED的技術(shù),“還沒有發(fā)布過這些技術(shù)的詳細(xì)內(nèi)容,只是在累積經(jīng)驗(yàn)”。

  另外,藤岡研究室還在2008年開發(fā)出了在石墨片材上用“脈沖激勵(lì)沉積法(PXD)”形成GaN晶體的技術(shù)。

  此次在可稱得上是較好薄石墨片材的石墨烯片材上用濺射法形成了GaN晶體,并確認(rèn)可實(shí)際發(fā)光。據(jù)介紹,分別制作了以紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)三原色發(fā)光的LED。

  目前還無法檢驗(yàn)白色發(fā)光的發(fā)光效率,以及單色狀態(tài)下的外部量子效率,正在對較低溫條件下的內(nèi)部量子效率進(jìn)行評估。藤岡教授表示,“與藍(lán)寶石基板上制作的LED相比,內(nèi)部量子效率要低好幾成”。今后的課題是如何將內(nèi)部量子效率提高至與現(xiàn)有LED相當(dāng)?shù)乃健?/p>

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