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真空鍍膜首先是應用于光學領域,二戰(zhàn)中德國人首先采用真空蒸發(fā)鍍膜法鍍制了大量的光學鏡片應用于軍事望遠鏡和瞄準鏡,并一直發(fā)展到高透過率、高反射率、分光過濾等現(xiàn)代光學玻璃鍍膜應用;在另一真空鍍的應用領域:新興的電子行業(yè),真空鍍膜法被大量應用于電阻、電容和半導體的制造,后來這一技術又逐漸發(fā)展成為集成電路和微電子器件的細微加工領域,并一直應用到現(xiàn)在;同樣新興的材料改性也需要提供大量具有特殊性能的工程材料,而在材料改性和薄膜技術方面真空電鍍又是走在了技術的,特別是在高腐蝕、高耐溫、高度度、高潤滑等領域,真空鍍膜法有其強大的技術優(yōu)勢并將一直發(fā)展下去。
伴隨著真空電鍍設備和技術的不斷改進,加工成本的不斷降低硅鋁旋轉靶材,特別是自70年代后期磁控濺射鍍膜工藝和設備的發(fā)展,越來越多的真空鍍膜加工被應用到裝飾+防腐領域,特別是在一些高等消費品的表面裝飾已經(jīng)可以看到真空電鍍的應用了。
靶材供應品種:銀(Ag)靶、Cr靶、Ti靶、鎳鉻(NiCr)靶、鋅錫(ZnSn)靶、硅鋁(SiAl)靶、氧化鈦(TixOy)靶等。靶材在玻璃上的另一個重要應用是制備汽車后視鏡,主要是鉻靶、鋁靶、氧化鈦靶等。隨著汽車后視鏡檔次要求的不斷提高,很多企業(yè)紛紛從原來的鍍鋁工藝轉成真空濺射鍍鉻工藝。
旋轉銀靶,作為旋轉靶中的杰出代表,在各種鍍膜中起著較其重要的作用,尤其在玻璃鍍膜中應用廣泛。旋轉銀靶鍍出來的產(chǎn)品,其結構分布更均勻,致密度更高,更適合生產(chǎn)高等產(chǎn)品。其換靶的周期更長,更能提高鍍膜企業(yè)的生產(chǎn)效率,降低其生產(chǎn)成本,在國外已得到廣泛的應用。
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