1、設備名稱(chēng)：ATON 1600 真空磁控濺射鍍膜線(xiàn)

2、產(chǎn)地：美國應用材料公司

3、功能：該系統專(zhuān)門(mén)針對光伏太陽(yáng)能所需要的SIN層鍍膜設計，分為7個(gè)真空室：進(jìn)料室、緩沖室、傳輸過(guò)渡室、濺射室1+濺射室2、傳輸過(guò)渡室、緩沖室、出料室。系統整體設計嚴格，采用分子泵高真空機組，配備高濺射效率的平面靶或旋轉靶，采用直流濺射。

設備也可以應用在ITO膜、SIO2膜、金屬膜，應用于如太陽(yáng)能、LOW-E、LED等行業(yè)。

4、簡(jiǎn)要介紹：

4.1、主體結構：7組真空箱體，連續式

4.2、真空泵組：分子泵、高真空系統

4.3、濺射部分：4個(gè)陰極濺射

4.4、工件尺寸：1600*800較大尺寸

4.5、配套設施：外圍所需配套齊備

4.6、控制方式：全自動(dòng)過(guò)程及工藝控制

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昊光機電應用科技有限公司是一家集科研、開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、貿易為一體的高新技術(shù)企業(yè)。公司依靠的技術(shù)，的產(chǎn)品，科學(xué)的經(jīng)營(yíng)理念，以及優(yōu)良的售后服務(wù)贏(yíng)得客戶(hù)的普遍好評。公司除在中國積較奮發(fā)研造高科技產(chǎn)品外，同時(shí)與中外有名大專(zhuān)院校,企業(yè)及單獨顧問(wèn)，長(cháng)久建立緊密科研合作伙伴關(guān)系。現有知名中外相關(guān)人士、教授、工程師40余名，其中多數從事母盤(pán)研發(fā)生產(chǎn)多年，經(jīng)驗豐富。公司內部管理體系完善，籌備機構合理效率高。 昊光科技公司主要圍繞高品質(zhì)高性能真空設備進(jìn)行設計、工藝分析、設備推廣等，除了直接代理國外真空流水線(xiàn)，依靠高科技人才消化吸收，在ITO、LOW-玻璃、太陽(yáng)能薄膜電池等方面所需要的真空設備方面有世界先進(jìn)技術(shù)和工藝制備流程，歡迎各個(gè)單位、學(xué)校來(lái)人洽談，共同發(fā)展。

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ATON 磁控鍍膜線(xiàn)

光學(xué)透明材料具有質(zhì)量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優(yōu)良特點(diǎn)，最常見(jiàn)的光學(xué)透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風(fēng)擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀(guān)察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，航空器隱身技術(shù)的發(fā)展，以及未來(lái)電子電磁對抗，實(shí)現電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實(shí)現隱身功能，以適應未來(lái)的戰爭環(huán)境。因此，在有機光學(xué)材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類(lèi)導電膜層，是實(shí)現航空透明件隱身的重要手段之一。長(cháng)期以來(lái)，由于航空有機玻璃的耐溫點(diǎn)低，無(wú)法達到鍍制功能膜所需高溫，常規的真空磁控濺射工藝難以實(shí)現，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進(jìn)行鍍制。為解決這一關(guān)鍵技術(shù)障礙，經(jīng)過(guò)公司技術(shù)人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術(shù)，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質(zhì)量的各類(lèi)導電膜系。各類(lèi)導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點(diǎn)。